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原标题：微电子加速迈向后摩尔时代！复旦大学梅永丰课题组集成 DNN 与纳米薄膜技术，精准分析入射光角度
关键字：纳米,探测器,光电,应变,有限元
文章来源：HyperAI超神经
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内容摘要：

作者：哇塞
编辑：李宝珠，三羊
复旦大学材料科学系梅永丰教授课题组，提出了一种多级准静态有限元分析法，并基于此设计构筑了六类硅/铬纳米薄膜组装三维微结构及相应的三维光探测器，充分验证了该技术的良好通用性和工业实践性。「二维纳米膜自组装成三维微结构」被认为是制造下一代微电子器件的重要途径，对于即将到来的先进电子和光电子应用至关重要。然而，二维纳米膜最终几何形状的形成受到蚀刻轨迹、化学反应、高宽比以及其他复杂因素影响，导致自组装器件在制造过程中难以提高产品良率和成品率，严重阻碍了其从实验室真正走向工业应用。
为了对预应变的纳米膜结构进行准确的形态预测和设计指导，科学家们在长达百年的时间里设计开发了许多分析和数值方法。其中，有限元建模 (finite element modeling, FEM) 可以直观地模拟和预测纳米膜释放后的行为，并在近年被研究人员用于研究和模拟纳米膜的自滚过程。不过从结果来看，多数实验只满足于特定构造形成或局部分析，仍缺乏广泛的适用性和准确的边界条件模型。
针对于此，复旦大学材料科学系梅永丰教授课题组，近日在「Nature Communications」上发表了题为「

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